Комбинированная установка VCS100F
Производитель:
Универсальная система VCS100F включает методы термического испарения и магнетронного распыления. Все источники тепла и магнетронные катоды установлены на опорной плите, и осаждение выполняется снизу-вверх.
Доступно для предзаказа
Характеристики
| Страна | Китай |
|---|---|
| Дисплей | сенсорный цветной |
| Материал камеры | нержавеющая сталь |
| Электропитание | 220 В, 50 Гц |
| Мощность | 2 кВт |
| Вес | 110 кг |
| В комплекте | 2 катода |
| Производительность насоса | 12 м3/ч (двухступенчатый роторный вакуумный насос) |
| Предельный вакуум | 0,005 торр |
| Передача данных | USB-разъем для принтера, USB-разъем для ПК, USB-разъем для карты памяти |
| Магнетрон | 2-дюймовый магнетронный катод |
| Точность высокоточного кварцевого датчика | 1 нм |
| Габариты (Д)х(Г)х(В) | 500 х 370 х 450 мм |
| Размеры вакуумной камеры | Ø 400 х (В) 500 мм |
Описание
Особенности:
- Большее расстояние между источниками тепла и образцами обеспечивает лучшую однородность толщины покрытий;
- Сильноточные электрические вводы;
- Система вращения образцов;
- Два прецизионных монитора измерения толщины пленки (FTM) с разрешением 1 нм;
- Широкодиапазонный комбинированный датчик Пирани/пеннинга (Лейболд);
- Двухслойная вакуумная камера с водяным охлаждением.
