Комбинированная установка VCS100F
Производитель:
Универсальная система VCS100F включает методы термического испарения и магнетронного распыления. Все источники тепла и магнетронные катоды установлены на опорной плите, и осаждение выполняется снизу-вверх.
Доступно для предзаказа
Характеристики
| Страна | |
|---|---|
| Дисплей |
сенсорный цветной |
| Материал камеры |
нержавеющая сталь |
| Электропитание |
220 В, 50 Гц |
| Мощность |
2 кВт |
| Вес |
110 кг |
| В комплекте |
2 катода |
| Производительность насоса |
12 м3/ч (двухступенчатый роторный вакуумный насос) |
| Предельный вакуум |
0,005 торр |
| Передача данных |
USB-разъем для принтера, USB-разъем для ПК, USB-разъем для карты памяти |
| Магнетрон |
2-дюймовый магнетронный катод |
| Точность высокоточного кварцевого датчика |
1 нм |
| Габариты (Д)х(Г)х(В) |
500 х 370 х 450 мм |
| Размеры вакуумной камеры |
Ø 400 х (В) 500 мм |
Описание
Особенности:
- Большее расстояние между источниками тепла и образцами обеспечивает лучшую однородность толщины покрытий;
- Сильноточные электрические вводы;
- Система вращения образцов;
- Два прецизионных монитора измерения толщины пленки (FTM) с разрешением 1 нм;
- Широкодиапазонный комбинированный датчик Пирани/пеннинга (Лейболд);
- Двухслойная вакуумная камера с водяным охлаждением.
