Настольная установка импульсного лазерного осаждения PLD–T
Производитель:
Высоковакуумная система осаждения тонких пленок PLD–T, позволяет осаждать различные материалы методами импульсного лазерного осаждения и термического испарения. Методом импульсного лазерного осаждения можно осаждать: нитриды, оксиды, сверхрешетки, полимеры, композиты. PLD–T оснащен многоцелевым манипулятором, который включает в себя три мишени диаметром 2 см.
Доступно для предзаказа
Доступно для предзаказа
Характеристики
| Страна | Китай |
|---|---|
| Дисплей | 7ʺ цветной сенсорный дисплей с автоматическим управлением |
| Материал камеры | нержавеющая сталь 304 |
| Электропитание | 220 В, 50 Гц |
| Мощность | 5 кВт |
| Вес | 46 кг |
| В комплекте | 3 мишени х Ø 2 см |
| Производительность насоса | 90 л/с (турбомолекулярный насос) |
| Предельный вакуум | 0,005 торр |
| Передача данных | USB-порт |
| Магнетрон | 2-дюймовый магнетронный катод |
| Точность высокоточного кварцевого датчика | 1 нм |
| Габариты (Д)х(Г)х(В) | 470 х 600 х 500 |
| Размеры вакуумной камеры | Ø 300 х (В) 200 мм |
| Источник испарения | лодка, корзина, змеевик |
Описание
Особенности:
- Система мониторинга кварцевым кристаллом, используемая для измерения толщины пленке в режиме реального времени;
- Интуитивно понятный сенсорный экран для управления и мониторинга процесса нанесения покрытия с возможностью быстрого ввода данных;
- Удобное программное обеспечение, которое можно обновлять по сети;
- Возможность записи и построения графиков параметров покрытия;
- Надежная конструкция держателя источника испарения не приводит к переносу загрязнений из исходных материалов в другие материалы;
- Длину держателей источников можно регулировать в диапазоне 5~10 см.
