Настольная установка магнетронного напыления DST3
Производитель:
Настольная установка магнетронного напыления с тремя магнетронами DST3 используется для напыления металлов, диэлектриков, полупроводников на подложки диаметром до 200 мм. Простая конструкция и интуитивно понятный интерфейс позволяют оператору легко и быстро проводить обработку образцов.
Доступно 2 конфигурации установки магнетронного напыления: DST3-A – угол наклона катодов 30 ° и DST3-S — катоды выстроены с линию.
Доступно для предзаказа
Доступно для предзаказа
Характеристики
| Страна | Китай |
|---|---|
| Дисплей | 7ʺ цветной сенсорный дисплей с полуавтоматическим управлением |
| Материал камеры | Pyrex |
| Электропитание | 220 В, 50 Гц |
| Мощность | 300 Вт |
| Вес | 120 кг (насос, шкаф и коробка) |
| В комплекте | 3 катода и стандартный предметный держатель |
| Производительность насоса | 90 л/с (турбомолекулярный насос); 4м3/ч (двухступенчатый роторный лопастной насос) |
| Предельный вакуум | 9х10-6 Торр |
| Передача данных | USB-порт |
| Магнетрон | 2-дюймовый магнетронный катод |
| Точность высокоточного кварцевого датчика | 1 нм |
| Габариты (Д)х(Г)х(В) | 470 х 600 х 500 мм |
| Размеры вакуумной камеры | Ø 300 х (В) 200 мм |
| Источник испарения | лодка, корзина, змеевик |
| Размер образца | до Ø 20 см |
Описание
Особенности:
- Возможность проводить процесс последовательно или одновременно с трех катодов;
- Графическое отображение давления, толщины и тока во время процесса позволяет с высокой точностью управлять процессом напыления;
- Ручная и автоматическая обработка;
- Возможность напыления по времени или по требуемой толщине;
- Высокоточная система контроля толщины на основе кварцевого датчика;
- Защита образца от перегрева.
